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J-GLOBAL ID：200903058566735311

表面改質方法およびこれを用いた液晶表示装置の製造方法

Inventor： 森瀬 好和 ,  中谷 龍司 ,  中村 恒夫
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997255565
Publication number (International publication number)：1999092179
Application date： Sep. 19, 1997
Publication date： Apr. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 液晶表示装置に用いられる透光性基板などの被処理物に対して有機高分子からなる膜や層を積層する際に、該被処理物と膜との密着性を向上させる表面改質処理を、処理工程の煩雑化および処理コストの上昇を回避して効果的に行うことができる表面改質方法と、この方法を用いた液晶表示装置の製造方法とを提供する。【解決手段】 オゾンを散気することによってヒドロキシラジカルを発生させた処理水を被処理物上に接触させて、該被処理物上に付着している微量有機物質を酸化分解するヒドロキシラジカル処理工程の後に、水溶性シランカップリング剤を含む水溶液を上記被処理物上に接触させて、該被処理物上にシランカップリング剤を塗布するシランカップリング剤塗布工程を行う。この後、好ましくは、被処理物を乾燥させる。

Claim (excerpt)：

オゾンを散気することによってヒドロキシラジカルを発生させた処理水を、被処理物上に接触させて、該被処理物上に付着している微量有機物質を酸化分解するヒドロキシラジカル処理工程と、上記ヒドロキシラジカル処理工程の後に、水溶性シランカップリング剤を含む水溶液を上記被処理物上に接触させて、該被処理物上にシランカップリング剤を塗布するシランカップリング剤塗布工程とを含んでいることを特徴とする表面改質方法。

IPC (6)：

C03C 23/00 ,  B05D 3/10 ,  B05D 7/04 ,  C03C 17/28 ,  G02F 1/1333 500 ,  B08B 3/08

FI (6)：

C03C 23/00 A ,  B05D 3/10 K ,  B05D 7/04 ,  C03C 17/28 Z ,  G02F 1/1333 500 ,  B08B 3/08 Z