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J-GLOBAL ID：200903058569876056
荷電粒子線加速装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994048257
Publication number (International publication number)：1995262960
Application date： Mar. 18, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：
【要約】【目的】本発明は、電子顕微鏡やイオン加速装置等の荷電粒子線加速装置に関し、その目的は、高電圧発生回路の複雑な構成を簡素化,高性能化、及び組立工数低減をすることにある。【構成】超高圧電子顕微鏡等に供されるコッククロフト・ウォルトン式高電圧発生回路で、回路を構成する電気部品と電界緩和用フープ5を完全に独立に配置される如く構成する。該フープ5は、複数段を一体構造とし、全体の段数を数ブロックに分離可能な構造とした。【効果】回路を駆動する高周波による部品間の電流結合を軽減出来るので表皮電流が流れにくく、高周波電流による磁場誘導が低減出来る。解体,再組立時の作業効率の大幅向上が計れる。接続部品の低減によって故障発生率の軽減が計れる。
Claim (excerpt)：
高電圧発生回路を構成する高電圧電気部品と荷電粒子を加速する多段加速管を圧力容器内に配置し、周囲を電界緩和用フープに囲まれた荷電粒子線加速装置において、該フープと高電圧電気部品と分離独立して構成することを特徴とする荷電粒子線加速装置。
IPC (2)：
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