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J-GLOBAL ID：200903058595568688
表面研磨装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992002507
Publication number (International publication number)：1993190518
Application date： Jan. 10, 1992
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：
【要約】【目的】 研磨終了後にアームによって保持プレート及び被加工材が研磨作業面から持ち上げ、ついで駆動手段を連結して保持プレートを回転させることで、アームによるワーク取り出し時間に起因するワーク表面の乾燥を防止できるようにする。【構成】 保持プレート4によって回転する定盤2にワーク3を押圧接触させ、研磨面に研磨剤を供給しながらワーク3の研磨を行うと共に、研磨終了後にワーク3を保持したまま保持プレート4を取り出すロボットアーム8を備えた表面研磨装置であって、保持プレート4を吸着する吸着プレート6の回転軸6aにクラッチ9を結合し、このクラッチ9にモータ10の回転軸を連結し、定盤2から離された保持プレート4をモータ10で回転できるようにする。
Claim (excerpt)：
保持プレートによって回転する定盤に被加工材を押圧接触させ、研磨面に研磨剤を供給しながら前記被加工材の研磨を行うと共に、研磨終了後に前記被加工材を保持したまま前記保持プレートを取り出すアームを備えた表面研磨装置であって、研磨終了後に前記保持プレートを回転させる駆動手段を具備することを特徴とする表面研磨装置。
IPC (2)：
H01L 21/304 321
, H01L 21/304
