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J-GLOBAL ID：200903058604798047

窒化珪素質焼結体およびその製法

Inventor： 松之迫 等 ,  佐藤 政宏 ,  山元 泉太郎
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992230995
Publication number (International publication number)：1994080469
Application date： Aug. 31, 1992
Publication date： Mar. 22, 1994
Summary：

【要約】【構成】第3A族酸化物を1〜10モル%、SiO2 を1〜25モル%の割合で含み、SiO2 の第3A族酸化物に対するモル比が0.25〜2.5 であり、且つ粒界にYAM相、アパタイト相およびワラストナイト相から選ばれる少なくとも1種を主体とする結晶相が存在する窒化珪素質焼結体を酸化性雰囲気中で600 〜1000°Cにて焼結体の酸化重量増が0.10〜0.50mg/cm2 の範囲となるように酸化処理する熱処理して、表層部の粒界にダイシリケート結晶相を析出させることにより焼結体の表層部の破壊靱性値を7.0 MPa・m1/2 以上、さらに焼結体の中心部よりもこの表層部が高靱性の焼結体を得る。【効果】窒化珪素質焼結体の表層部におけるクラックの進行を抑制し、焼結体強度を向上を図ることができる。

Claim (excerpt)：

周期律表第3A族元素酸化物(RE2 O3 )を1〜10モル%、SiO2 を1〜25モル%の割合で含み、且つSiO2 の前記周期律表第3A族元素酸化物に対するモル比が0.25〜2.5である窒化珪素質焼結体であって、該焼結体の表層部の破壊靱性値が7.0MPa・m1/2 以上であり、且つ中心部よりも高靱性であることを特徴とする窒化珪素質焼結体。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭64-056368
  
• 特開昭64-061357
  
• 特開平4-154666