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J-GLOBAL ID：200903058650067120

有機液媒質に分散された微粉粒子状強誘電 体のコロイド溶液の質量流量制御と気化

Inventor： 小野 弘文 ,  古門 龍彦
Applicant, Patent owner： 株式会社リンテック
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996315396
Publication number (International publication number)：1998121251
Application date： Oct. 21, 1996
Publication date： May. 12, 1998
Summary：

【要約】【目的】 微粉粒子状強誘電体を有機液媒質に分散させたコロイド溶液を質量流量制御し、気化させ、従来よりより高度な成膜生成が出来るようにする。【構成】制御されたコロイド溶液(1)の出口部(3)に噴流部(5)があり、キャリアガスを高速に噴流させ、コロイド溶液(1)を吸引しキャリアガスと混合させる。混合物(エ)を後方の気化ユニット(8)に導く細管部(7)があり高温に加熱された気化ユニット(8)からの伝熱を少なくし噴流部(5)の温度を有機液媒質の沸点より低い温度に保持する。続いて混合物(エ)を気化する気化ユニット(8)がある。気化ユニット(8)は円直管(9)、円直管(9)の壁面温度を微粉粒子状強誘電体の昇華温度以上に制御するヒータ(11)や熱電対(12)から成るヒータブロック(10)とヒータブロックからの放熱を少なくする保温材(13)から構成されている。

Claim (excerpt)：

既出願の「気化装置の弁構造」(出願番号特願平7-347266号)のバルブ機構と質量流量計とを組み合わせ、有機液媒質の沸点(約130°C〜70°C)より低い温度と約0.5Kgf/cm2G〜3Kgf/cm2Gなる圧力の条件下において、有機液媒質に分散された昇華温度が約200°C以上の微粉粒子状強誘電体のコロイド溶液を質量流量制御し、前記バルブ機構のコントロール弁部より流出せるコロイド溶液の出口部に臨み、該出口部を囲周して設けられた噴流部の細隙から、別に設けられた質量流量制御器により質量流量制御されたキャリアガスを噴流させることにより、コロイド溶液を前記出口部より迅速に吸引し、キャリアガスと混合させつつ後方へ送出せしむることの出来ることを特徴とする噴流機構。

IPC (3)：

C23C 16/44 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/31

FI (3)：

C23C 16/44 D ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/31 B