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J-GLOBAL ID：200903058678050192
高純度ガス配管系のバルブ開閉チェック方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
八田 幹雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993061920
Publication number (International publication number)：1994281052
Application date： Mar. 22, 1993
Publication date： Oct. 07, 1994
Summary：
【要約】【目的】 高純度ガス配管系に設けられている圧力計を極力廃止し、内部を流通するガスの純度を維持し、実質的にバルブの開閉状態も検知することができる高純度ガス配管系のバルブ開閉チェック方法を提供することを目的とする。【構成】 ガス供給配管(3) とパージ配管(5) とを分岐部(R) により連通した高純度ガス配管系に設けられている圧力計( P1,P2,P3,P4)を極力廃止し、パージ配管のみに圧力計(P4 )を設け、この圧力計(P4)と、ガス供給配管(3) に設けられているバルブ(6,7,8) とを使用してパージ配管(5) のバルブ(8) の開閉状態をチェックするようにしたもの。
Claim (excerpt)：
ガス供給源からの高純度ガスをガス使用装置に導くガス供給配管と、このガス供給配管から分岐され当該ガス供給配管内のガスを吸引装置により排出するパージ配管と、前記ガス供給配管の分岐部上流側に設けられた第1バルブと、前記ガス供給配管の分岐部下流側に設けられた第2バルブと、前記パージ配管の前記分岐部と吸引装置との間に設けられた第3バルブとを有し、この第3バルブの吸引装置側近傍に当該パージ配管内のガス圧を検知する圧力計を設けた高純度ガス配管系において、前記第1バルブ、第2バルブおよび第3バルブを閉鎖した状態で前記吸引装置を作動したときの前記圧力計の指示値と、この状態から第3バルブを開放した直後の前記圧力計の指示値および第3バルブの開放後所定時間経過後の圧力計の指示値との比較により前記第3バルブの開状態を、前記第1バルブを開放し、前記第2バルブおよび第3バルブを閉鎖した状態で、ガス供給源からの高純度ガスをガス供給配管に導き、前記吸引装置を作動したときの前記パージ配管に設けられた前記圧力計の指示値により前記第3バルブの閉状態をチェックするようにした高純度ガス配管系のバルブ開閉チェック方法。
IPC (3)：
F16K 37/00
, F17D 1/04
, H01L 21/205
