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J-GLOBAL ID：200903058686141431

酸化アルミニウム用エッチング液

Inventor： 根津 秀明 ,  讃良 憲一
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 久保山 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997132200
Publication number (International publication number)：1998321611
Application date： May. 22, 1997
Publication date： Dec. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】 酸化アルミニウムに対する選択的エッチング性(侵食性)に優れ、しかもエッチング後の表面の平滑性に優れ、更に溶解した元素のアンモニウム塩の発生を抑制した酸化アルミニウム用エッチング液を提供する。【解決手段】 下記(A)〜(C)を混合してなり、(A)/(B)の重量比が1/20〜1/2であり、(A)〜(C)の合計重量中の(C)の割合が25〜70重量%である酸化アルミニウム用エッチング液。(A):フッ化アンモニウム(B):有機カルボン酸(C):水

Claim (excerpt)：

下記(A)〜(C)を混合してなり、(A)/(B)の重量比が1/20〜1/2であり、(A)〜(C)の合計重量中の(C)の割合が25〜70重量%である酸化アルミニウム用エッチング液。(A):フッ化アンモニウム(B):有機カルボン酸(C):水