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J-GLOBAL ID：200903058699011561

ドライエッチング用静電チャック装置及び載置台

Inventor：
武 石 浩 司

About 武 石 浩 司


Applicant, Patent owner：
芝浦メカトロニクス株式会社

About 芝浦メカトロニクス株式会社


Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999092911
Publication number (International publication number)：2000286332
Application date： Mar. 31, 1999
Publication date： Oct. 13, 2000
Summary：
【要約】【課題】 ダウンフロー型のエッチング及びリアクティブイオンエッチングの両方に共用できる静電チャック装置及び載置台を提供する。【解決手段】 導電性膜25を両面から挟み込む一対の絶縁性膜27を有するチャック本体16が載置台4に接着剤で貼着されている。チャック本体16の表面はフッ素系樹脂より成る保護膜28で被覆されており、保護膜28の周縁部28aは載置台4の側周面4b側に湾曲してチャック本体16と載置台4との間の接着剤の露出部26を被覆している。保護膜28の周縁端部28cは載置台4に接着剤で貼着されており、保護膜28と載置台4との間の接着剤の露出部30は保護リング29で被覆されている。保護膜28の表面の平坦部28bは被処理物Wを載置する載置面を形成し、載置面28bの外径は被処理物Wの外径よりも小さい。
Claim (excerpt)：
ドライエッチング処理される被処理物を静電気力によって吸着保持するために、エッチング室の内部の載置台に設けられる静電チャック装置において、前記被処理物を吸着する際に電圧が印加される導電性膜と、この導電性膜を両面から挟み込む一対の絶縁性膜と、を有するチャック本体を備え、前記チャック本体は前記載置台に接着剤によって貼着されており、前記チャック本体の表面はフッ素系樹脂より成る保護膜によって被覆されており、前記保護膜の周縁部は前記載置台の側周面側に湾曲して前記チャック本体と前記載置台との間の前記接着剤の露出部を被覆しており、前記保護膜の周縁端部は前記載置台に接着剤によって貼着されており、前記保護膜と前記載置台との間の前記接着剤の露出部は保護リングによって被覆されており、前記保護膜の表面の平坦部は前記被処理物を載置する載置面を形成し、前記載置面の外径は前記被処理物の外径よりも小さな値に設定されていることを特徴とするドライエッチング用静電チャック装置。
IPC (3)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00
FI (3)：
H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D
F-Term (10)：
3C016AA01 ,  3C016DA15 ,  3C016GA06 ,  3C016GA10 ,  3C016HC01 ,  5F031HA10 ,  5F031HA16 ,  5F031HA19 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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