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J-GLOBAL ID:200903058702322794
表示装置用検査装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
角田 芳末
, 伊藤 仁恭
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006123837
Publication number (International publication number):2007298278
Application date: Apr. 27, 2006
Publication date: Nov. 15, 2007
Summary:
【課題】比較的簡易な装置構成で、かつ比較的短時間で表示装置の色調の検査を行う。【解決手段】集光光学系9と、走査光学系3と、回折格子型光制御素子5と、光学レンズ6と、光検出素子7とを有して成り、表示装置10からの画像光を集光光学系9及び走査光学系3により選択的に回折格子型光制御素子5に入射させ、この回折格子型光制御素子5において選択的に入射された画像光の一部を回折し、その回折光を、光学レンズ6を介して光検出素子7により検出して画像光を分光する。回折角度の波長依存性を利用して、画素毎の分光を可能とする。【選択図】図1
Claim (excerpt):
集光光学系と、走査光学系と、回折格子型光制御素子と、光学レンズと、光検出素子とを有して成り、
表示装置からの画像光が前記集光光学系及び前記走査光学系により選択的に前記回折格子型光制御素子に入射され、該回折格子型光制御素子において前記選択的に入射された画像光の一部が回折され、その回折光が前記光学レンズを介して前記光検出素子により検出されて前記画像光が分光される
ことを特徴とする表示装置用検査装置。
IPC (6):
G01M 11/00
, G01J 3/18
, G01J 3/36
, G02B 5/18
, G02B 26/00
, G02F 1/13
FI (6):
G01M11/00 T
, G01J3/18
, G01J3/36
, G02B5/18
, G02B26/00
, G02F1/13 101
F-Term (29):
2G020BA20
, 2G020CA01
, 2G020CC02
, 2G020CC03
, 2G020CC04
, 2G020CC07
, 2G020CC08
, 2G020CC42
, 2G020CC63
, 2G020CD14
, 2G020CD23
, 2G020CD24
, 2G020CD28
, 2G086EE10
, 2G086EE12
, 2H041AA13
, 2H041AB14
, 2H041AC04
, 2H041AC06
, 2H049AA07
, 2H049AA13
, 2H049AA60
, 2H049AA63
, 2H049AA68
, 2H088FA12
, 2H088FA30
, 2H088HA10
, 2H088HA24
, 2H088MA20
Patent cited by the Patent:
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