Pat
J-GLOBAL ID：200903058749318493
セラミックス多層基板の製造方法
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 祥泰
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992269577
Publication number (International publication number)：1994097661
Application date： Sep. 11, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：
【要約】【目的】 積層時の伸び率及び焼成時における寸法収縮のばらつきが少なく,寸法精度に優れたセラミックス多層基板の製造方法を提供すること。【構成】 セラミックスグリーンシート71〜74の最上面及び最下面にセラミックスグリーンシートの焼結温度では焼結しない未焼結グリーンシート61,69を載置して積層体90を得る。次いで,平面方向の伸び率を0.05%以下に抑えた状態で,積層体90を加圧して圧着体を得る。上記焼結温度で該圧着体を焼成し,その後未焼結グリーンシート61,69を除去する。積層体90の加圧方法は,積層体90と同形状の剛性容器1中に積層体90を収納し,積層体90をその上下方向から平行平板により加圧することが好ましい。また,液体中における等方圧プレス方法でもよい。
Claim (excerpt)：
セラミックスグリーンシートと,該セラミックスグリーンシートの焼結温度では焼結しない未焼結グリーンシートとを準備するA工程と,上記セラミックスグリーンシートの表側面及び裏側面に上記未焼結グリーンシートを載置して積層体を得るB工程と,平面方向の伸び率を0.05%以下に抑えた状態で,上記積層体を加圧して圧着体を得るC工程と,上記セラミックスグリーンシートの焼結温度で上記圧着体を焼成するD工程と,上記圧着体から上記未焼結グリーンシートを除去して焼結されたセラミックス基板を得るE工程とよりなることを特徴とするセラミックス多層基板の製造方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
