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J-GLOBAL ID：200903058750505833

液晶表示装置の製造方法

Inventor： 渡辺 善樹 ,  長谷川 守 ,  佐藤 敏男 ,  大和田 淳一
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立デバイスエンジニアリング株式会社
Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995132247
Publication number (International publication number)：1996327996
Application date： May. 30, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】有機材料を用いたブラックマトリクス用薄層に高精度のアライメントマークのパターンを形成する。【構成】基板に吸光物質を混入した有機材料を主体としたネガ型の感光性レジストの薄層を形成する工程(a)と、有効領域外の所定部分の感光性レジスト薄層をレーザー加工によりアライメントマーク部分を残して除去加工する工程(b)と、感光性レジスト薄層をブラックマトリクスパターンおよびアライメントマーク部分とに対応する開口を有する露光マスクを用いて露光する露光工程(c)と、感光性レジストを現像してアライメントマークおよびブラックマトリクスを形成する工程(d)と、ベーキングしてアライメントマークおよびブラックマトリクスを硬化する工程(e)と、複数のカラーフィルタを形成する工程とを少なくとも含む。

Claim (excerpt)：

ブラックマトリクスで区画された複数のカラーフィルタと前記カラーフィルタ上に形成した第1の透明電極とを少なくとも有する第1の基板と、前記第1の透明電極と対をなして画素を構成する第2の透明電極を有する第2の基板と、前記第1の基板と第2の基板の間に液晶層を封止してなる液晶表示装置の製造方法において、前記第1の基板に形成した吸光物質を混入した有機材料を主体としたネガ型の感光性レジストの薄層にレーザー加工で製造用の位置設定手段であるアライメントマークを形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (2)：

G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101

FI (2)：

G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101