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J-GLOBAL ID：200903058789199829
試料の帯電検出方法および走査電子顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994081538
Publication number (International publication number)：1995288096
Application date： Apr. 20, 1994
Publication date： Oct. 31, 1995
Summary：
【要約】【目的】 試料の帯電の状態を自動的に簡単に検出することができる試料の帯電検出方法および走査電子顕微鏡を実現する。【構成】 電子銃3からの電子ビームを試料6上に集束し、更に電子ビームを試料6上で2次元的に走査する。試料への電子ビームの照射に応じて得られた反射電子信号を検出器16によって検出し、検出器16からの信号に基づいて所定時間内における検出信号の変動分を求め、求められた変動分に基づいて試料周辺の圧力、試料への電子ビームの照射量、電子ビームの加速電圧のいずれかを制御する。
Claim (excerpt)：
試料上を繰り返し電子ビームによって所定時間走査し、この所定時間の電子ビームの走査に伴って得られた信号の変動分を検出するようにした試料の帯電検出方法。
IPC (3)：
H01J 37/244
, H01J 37/22 502
, H01J 37/28
