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J-GLOBAL ID：200903058865560773

マグネトロンスパッタ用カソード電極

Inventor：
小林 司

About 小林 司

, 
内山 智雄

About 内山 智雄


Applicant, Patent owner：
アネルバ株式会社

About アネルバ株式会社


Agent (1)： 田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995303554
Publication number (International publication number)：1997125242
Application date： Oct. 27, 1995
Publication date： May. 13, 1997
Summary：
【要約】【課題】マグネトロンスパッタ装置で、良好な膜厚分布均一性を保つと共に局所的非エロージョン部をなくしてターゲットのエロージョン面積を大きくし、長期にわたって基板上にパーティクル発生のない安定した成膜を可能とする。【解決手段】ターゲット16の背後に、長形の磁石ユニット22a,22b を各々の長辺が平行になるように複数個配置してなる磁石組立体を備え、複数の磁石ユニットの各々はターゲット上にトンネル状磁力線を形成し、磁石組立体は往復運動するように構成され、複数の磁石ユニットのうち両端の磁石ユニットに隣接する磁石ユニット22b のT/M距離を他の磁石ユニット22a のT/M距離よりも大きくし、かつ隣接する磁石ユニットの長辺方向の長さを他の磁石ユニットの長さよりも長くする。
Claim (excerpt)：
ターゲットの背後に、平面形状が長形の磁石ユニットをその各々の長辺が平行になるように複数個配置してなる磁石装置を備え、前記磁石ユニットは前記ターゲット上にトンネル状磁力線を形成し、前記磁石装置は往復運動するように構成されたマグネトロンスパッタ用カソード電極において、前記複数の磁石ユニットのうち両端の磁石ユニットの各々に隣接する磁石ユニットのT/M距離を他の磁石ユニットのT/M距離よりも大きくし、かつ前記隣接する磁石ユニットの長辺方向の長さを前記他の磁石ユニットの長さよりも長くしたことを特徴とするマグネトロンスパッタ用カソード電極。
IPC (3)：
C23C 14/35 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285
FI (3)：
C23C 14/35 B ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/285 S
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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