固体撮像素子

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：梅田勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993014515
Publication number (International publication number)：1994232379
Application date： Feb. 01, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【構成】カラーフィルター8a,8b,8c上に第1透明保護層9を形成し、更に、第1透明保護層9上にマイクロレンズ11を形成する。次に、マイクロレンズ11による凹凸を、撥水性及び撥油性を有し(低表面エネルギーを有し)、可視領域の光に対して高い透過率を有し、塗布時の平坦化能力が高く、マイクロレンズ11の屈折率より低い屈折率を有する第1透明樹脂層12によって平坦化する。【効果】マイクロレンズの集光効果を失うことなく固体撮像素子の表面にダスト等が付着しにくくなり、付着したとしても綿棒等によって簡単に除去することができる。

Claim (excerpt)：

受光部上部にマイクロレンズが形成された固体撮像素子に於いて、前記表面部に設けられたマイクロレンズによって形成された凹凸部が、前記マイクロレンズの屈折率よりも低屈折率で且つ撥水性及び撥油性を有する透明樹脂によって平坦化されていることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (4)：

H01L 27/14 , G02B 27/00 , H01L 23/29 , H01L 23/31

FI (2)：

H01L 27/14 D , H01L 23/30 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開平3-230567
マイクロレンズ付固体撮像装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-222193 Applicant：ソニー株式会社

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