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J-GLOBAL ID：200903058941489455
感光性組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991009928
Publication number (International publication number)：1993019478
Application date： Jan. 30, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：
【要約】 (修正有)【構成】 一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-オキシムスルホネート基を有する化合物を含有するポジ型感光性組成物。、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を、R1 、R2は同一でも相異していてもよく、各々、水素原子等を、R3 は置換基を有していてもよいアルキル基等を、R4 、R5 は同一でも相異していてもよく、各々水素原子、アルキル基等を、示す。A1 、A2 、A3 は単結合、置換基を有していてもよいアルキレン、もしくはアリーレン基を示す。また、R1 とR2 、R1 、R2 とA1 、A2 、A3 もしくはA1 、A2 、A3 間の1つ又は複数個が結合し環を形成してもよい。【効果】 高感度であり、解像力に優れた感光性組成物を提供できる。
Claim (excerpt)：
下記一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-オキシムスルホネート基を有する化合物を含有するポジ型感光性組成物。【化1】式中、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を示し、R1 、R2は同一でも相異していてもよく、各々、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル、アルケニル、アリール、アラルキル、アルコキシ、アリーロキシ、シアノ、-CO-R3、もしくは-CO-NR4R5 の各基を示す。R3 は置換基を有していてもよいアルキル、アリール、アラルキル、アルコキシ、もしくはアリーロキシ基を示し、R4 、R5 は同一でも相異していてもよく、各々水素原子、アルキル、アリール、もしくはアラルキル基を示す。A1 、A2 、A3 は単結合、置換基を有していてもよいアルキレン、もしくはアリーレン基を示し、p、q、rは0又は1以上の整数を示す。また、R1 とR2 、R1 、R2 とA1 、A2 、A3 もしくはA1 、A2 、A3 間の1つ又は複数個が結合し環を形成してもよい。
IPC (4)：
G03F 7/039 501
, G03F 3/10
, G03F 7/022
, H01L 21/027
