軟X線式イオナイザ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：森田雄一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001108873
Publication number (International publication number)：2002313597
Application date： Apr. 06, 2001
Publication date： Oct. 25, 2002
Summary：

【要約】【課題】軟X線を外界に漏洩させることなくプラスイオンとマイナスイオンを取り出せる軟X線式イオナイザを提供する。【解決手段】遮蔽カバー1と、軟X線を照射する軟X線照射装置2と、送風を遮蔽カバー内へ導く送風管3と、遮蔽カバー内へ流入した気体を外界へ流出させる噴射口4と、噴射口4からの軟X線の漏洩を防止する軟X線遮蔽体5を備え、生成したイオンを含む気体を噴射口4から外部へ噴射する軟X線式イオナイザとした。

Claim (excerpt)：

軟X線を用いてイオンを生成する軟X線式イオナイザにおいて、外界から仕切られた遮蔽カバーと、遮蔽カバー内に軟X線を照射する軟X線照射装置と、送風手段からの送風を遮蔽カバー内へ導く送風導入部と、送風導入部から遮蔽カバー内へ流入した気体を外界へ流出させる噴射口と、軟X線照射装置が照射する軟X線照射領域内であって、噴射口からの軟X線の漏洩を防止するための軟X線遮蔽体と、を備え、生成したイオンを含む気体を噴射口から外部へ噴射することを特徴とする軟X線式イオナイザ。

IPC (8)：

H05F 3/06 , G21F 1/08 , G21F 7/00 , G21K 1/00 , G21K 5/00 , G21K 5/04 , H01L 21/027 , H01T 23/00

FI (9)：

H05F 3/06 , G21F 1/08 , G21F 7/00 Z , G21K 1/00 A , G21K 5/00 S , G21K 5/04 A , H01T 23/00 , H01L 21/30 503 G , H01L 21/30 564 Z

F-Term (4)：

5F046JA04 , 5F046JA25 , 5G067AA42 , 5G067DA24

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

イオンガス発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-319910 Applicant：浜松ホトニクス株式会社
イオンガス発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-148010 Applicant：浜松ホトニクス株式会社
静電気対策用吹出口
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-066680 Applicant：株式会社テクノ菱和, 浜松ホトニクス株式会社, 原田産業株式会社

Cited by examiner (3)

イオンガス発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-319910 Applicant：浜松ホトニクス株式会社
イオンガス発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-148010 Applicant：浜松ホトニクス株式会社
静電気対策用吹出口
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-066680 Applicant：株式会社テクノ菱和, 浜松ホトニクス株式会社, 原田産業株式会社

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