Pat

J-GLOBAL ID：200903058968427125

ポジ型レジスト組成物

Inventor： 佐藤 健一郎 ,  児玉 邦彦 ,  青合 利明
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999127296
Publication number (International publication number)：2000321771
Application date： May. 07, 1999
Publication date： Nov. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】 遠紫外光、とくにArFエキシマレーザー光を使用する上記ミクロフォトファブリケ-ション本来の性能向上技術の課題を解決することであり、具体的には、現像欠陥の発生が防止され、得られるレジストパターンプロファイルが優れ、且つコンタクトホールの解像性が優れたポジ型レジスト組成物を提供すること。【解決手段】 特定の構造の繰り返し単位を有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型レジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(I)で示される繰り返し単位、下記一般式(II)で示される繰り返し単位、及び下記一般式(III-a)〜(III-d)で示される繰り返し単位のうち少なくとも1種を含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、(B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。【化1】【化2】上記式中、R1は、水素原子又はメチル基を表す。R2は炭素数1〜4個のアルキル基を表す。R3、R4は各々独立に水素原子又は炭素数1〜4個のアルキル基を表す。R5〜R12は各々独立に水素原子または置換基を有していてもよいアルキル基を表す。Rは、水素原子あるいは、置換基を有していてもよい、アルキル基、環状アルキル基、アリール基又はアラルキル基を表す。mは、1〜10の整数を表す。Xは、単結合又は、置換基を有していてもよい、アルキレン基、環状アルキレン基、アリーレン基あるいは、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、スルフォンアミド基、ウレタン基、ウレア基からなる群から選択される単独、あるいはこれらの基の少なくとも2つ以上が組み合わされ、酸の作用により分解しない2価の基を表す。Zは、単結合、エーテル基、エステル基、アミド基、アルキレン基、又はこれらを組み合わせた2価の基を表す。R13は、単結合、アルキレン基、アリーレン基、又はこれらを組み合わせた2価の基を表す。R15は、アルキレン基、アリーレン基、又はこれらを組み合わせた2価の基を表す。R14は置換基を有していてもよい、アルキル基、環状アルキル基、アリール基又はアラルキル基を表す。R16は、水素原子あるいは、置換基を有していてもよい、アルキル基、環状アルキル基、アルケニル基、アリール基又はアラルキル基を表す。Aは、下記に示す官能基のいずれかを表す。【化3】

IPC (9)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/04 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/02 ,  C08L 33/04 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/027

FI (9)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/04 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/02 ,  C08L 33/04 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (60)：

2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB42 ,  2H025CB45 ,  2H025CC04 ,  4J002BG011 ,  4J002BG031 ,  4J002BG071 ,  4J002CH022 ,  4J002CP032 ,  4J002EH047 ,  4J002EQ016 ,  4J002EU186 ,  4J002EU216 ,  4J002EV236 ,  4J002EV296 ,  4J002FD206 ,  4J002FD312 ,  4J002FD317 ,  4J002GP03 ,  4J100AJ02R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AM21R ,  4J100BA02R ,  4J100BA03R ,  4J100BA04R ,  4J100BA05R ,  4J100BA11Q ,  4J100BA11R ,  4J100BA12R ,  4J100BA15R ,  4J100BA34R ,  4J100BA37R ,  4J100BA38R ,  4J100BA58R ,  4J100BA59R ,  4J100BB01R ,  4J100BC04R ,  4J100BC08R ,  4J100BC09P ,  4J100BC22R ,  4J100BC23R ,  4J100BC48R ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53R ,  4J100BC58R ,  4J100CA05 ,  4J100JA38