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J-GLOBAL ID：200903058980439465

高感度シリコンに基づくマイクロカロリメータの及びその製造方法

Inventor： マーゲリタ ジニニ - フィッシャー ,  ヤコブス ヘンドリック ビサー
Applicant, Patent owner： フォード モーター カンパニー
Agent (1)： 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995117396
Publication number (International publication number)：1996043340
Application date： May. 16, 1995
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 内燃機関の排気ガスにおける可燃性ガスの濃度を測定するマイクロカロリメータ及びその製造方法を提供する。【構成】 ポリシリコン・プレート及び前記シリコン・フレームにより支持されたシリコン・フレームをそれぞれ有する一対の温度検知素子と、前記各ポリシリコン・プレートとその周辺に搭載されたポリシリコン層と、前記温度検知素子を介する排気ガスの流路を定め、かつ前記ポリシリコン層から前記ポリシリコン・プレートを熱絶縁させるように支持する支持アームと、抵抗温度計及びヒータ抵抗を定める各ポリシリコン・プレート上の複数の電気抵抗と、前記可燃性ガスの燃焼熱を検出できるように前記ポリシリコン・プレートのうちの少なくとも一つの片面に配置された触媒材料とを備えている。

Claim (excerpt)：

内燃機関の排気ガスにおける可燃性ガスの濃度を検出するようにされたマイクロカロリメータにおいて、一対の温度検知素子であって、それぞれがポリシリコン・プレート、シリコン・フレーム及び前記シリコン・フレームにおける少なくとも一つの空洞を有し、前記ポリシリコン・プレートが前記シリコン・フレームにより支持され、前記各ポリシリコン・プレートがフレーム空洞上に配置されている前記一対の温度検知素子と、前記各ポリシリコン・プレートの基礎及びその周辺に搭載されたポリシリコン層と、前記ポリシリコン層に前記ポリシリコン・プレートを結合し、前記温度検知素子を介するガス流路を定め、かつ前記ポリシリコン層から前記ポリシリコン・プレートを熱絶縁させるように前記ポリシリコン・プレートを支持する支持アームと、抵抗温度計及びヒータ抵抗を定める各ポリシリコン・プレート上の複数の電気抵抗と、前記可燃性ガスの燃焼熱を検出できるように前記ポリシリコン・プレートのうちの少なくとも一つの片面に配置された触媒材料とを備えたマイクロカロリメータ。

IPC (2)：

G01N 27/16 ,  G01N 25/30