Pat
J-GLOBAL ID:200903059021719870

パターン化された透明導電膜およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 土橋 皓
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998081668
Publication number (International publication number):1999278869
Application date: Mar. 27, 1998
Publication date: Oct. 12, 1999
Summary:
【要約】【課題】 優れた透明性と高い導電性を有するパターン化された透明導電膜および酸エッチングを行わず、安全で、工程数が少なく、微細なパターンを形成できるパターン化された透明導電膜の製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】 Inと、Snと、W,Cr,Moのうち少なくとも1種以上の元素とを含有するパターン化された透明導電膜と、インジウム化合物と、錫化合物と、W,Cr,Moのうち少なくとも1種以上を含む化合物と、感光性樹脂とを含有する塗布液を用いて形成したパターン化された透明導電膜の製造方法を構成する。
Claim (excerpt):
Inと、Snと、W,Cr,Moのうち少なくとも1種以上の元素とを含有することを特徴とするパターン化された透明導電膜。
IPC (6):
C03C 17/27 ,  B05D 1/32 ,  B32B 27/18 ,  C01G 15/00 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503
FI (6):
C03C 17/27 ,  B05D 1/32 Z ,  B32B 27/18 J ,  C01G 15/00 B ,  H01B 5/14 B ,  H01B 13/00 503 B
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

Return to Previous Page