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J-GLOBAL ID：200903059041766123

表面不純物測定方法

Inventor： 水野 薫
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 田村 弘明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997151422
Publication number (International publication number)：1998339691
Application date： Jun. 09, 1997
Publication date： Dec. 22, 1998
Summary：

【要約】【課題】 環境、試薬、器具、操作などからの汚染を防止しながら被測定物表面から任意の深さまでエッチングを行い、ここから汚染を抽出する表面不純物測定方法を提供する。【構成】 被測定物の表面をHF蒸気と、HNO3 蒸気又はH2 O2 蒸気とに個別に連続的に曝露して蒸気を結露させた後、被測定物表面に超純水を滴下して被測定物表面全体を覆い、被測定物の表面に結露した液滴を超純水に溶解させ試料溶液とした後、試料溶液を被測定物表面から採取して被測定物表面から任意の深さまでの皮膜に含有される不純物の定性分析と定量分析を行うことを特徴とする表面不純物測定方法。

Claim (excerpt)：

被測定物の表面をHF蒸気と、HNO3 蒸気又はH2 O2 蒸気とに個別に連続的に曝露して蒸気を結露させた後、被測定物表面に超純水を滴下して被測定物表面全体を覆い、被測定物の表面に結露した液滴を超純水に溶解させ試料溶液とした後、試料溶液を被測定物表面から採取して被測定物表面から任意の深さまでの皮膜に含有される不純物の定性分析と定量分析を行うことを特徴とする表面不純物測定方法。

IPC (3)：

G01N 1/28 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/66

FI (3)：

G01N 1/28 X ,  H01L 21/66 L ,  H01L 21/306