Pat

J-GLOBAL ID：200903059071933571

半導体装置の製造方法

Inventor： 齊藤 朋広 ,  一瀬 勝彦 ,  三谷 真一郎 ,  柳田 洋平
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001245444
Publication number (International publication number)：2003060201
Application date： Aug. 13, 2001
Publication date： Feb. 28, 2003
Summary：

【要約】【課題】 SAC技術を適用した積層スペーサ構造のCMOSデバイスにおいて、ソース、ドレイン間のショート等を防ぎ、さらにnチャネルMISFETとpチャネルMISFETとの電流駆動能力のバランスを確保する。【解決手段】 層間絶縁膜に形成されるコンタクトホールのエッチングストッパ層を、熱CVD法で堆積されるシリコン窒化膜16aとプラズマCVD法で堆積されるシリコン窒化膜16bとからなる積層膜16で構成する。

Claim (excerpt)：

(a)半導体基板の主面上に形成されたCMOSデバイスのゲート電極の側壁に2層以上の絶縁膜からなる積層構造のスペーサを形成する工程と、(b)前記半導体基板上に被覆性が相対的に良好な第1の絶縁膜および応力が相対的に小さい第2の絶縁膜を順次堆積して積層膜を形成し、続いて層間絶縁膜を堆積する工程と、(c)前記積層膜をエッチングストッパ層とし、レジストパターンをマスクとしたエッチングによって前記層間絶縁膜を加工する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。

IPC (5)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092

FI (5)：

H01L 21/28 L ,  H01L 29/78 301 N ,  H01L 27/08 321 F ,  H01L 21/90 C ,  H01L 21/90 M

F-Term (104)：

4M104BB01 ,  4M104BB18 ,  4M104BB19 ,  4M104DD02 ,  4M104DD04 ,  4M104DD07 ,  4M104DD08 ,  4M104DD09 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD78 ,  4M104DD84 ,  4M104EE09 ,  4M104EE15 ,  4M104EE17 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  5F033HH04 ,  5F033HH07 ,  5F033JJ19 ,  5F033KK01 ,  5F033KK25 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ16 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ70 ,  5F033QQ73 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033SS01 ,  5F033SS03 ,  5F033SS04 ,  5F033SS11 ,  5F033SS15 ,  5F033TT02 ,  5F033TT08 ,  5F048AA01 ,  5F048AB03 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BB06 ,  5F048BB07 ,  5F048BB08 ,  5F048BC06 ,  5F048BE03 ,  5F048BF06 ,  5F048BF07 ,  5F048BF16 ,  5F048BG14 ,  5F048DA23 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F048DA30 ,  5F140AA05 ,  5F140AA08 ,  5F140AA14 ,  5F140AA24 ,  5F140AA39 ,  5F140AB03 ,  5F140BA01 ,  5F140BE03 ,  5F140BE07 ,  5F140BF01 ,  5F140BF04 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BG09 ,  5F140BG10 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG28 ,  5F140BG30 ,  5F140BG32 ,  5F140BG33 ,  5F140BG34 ,  5F140BG41 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BH14 ,  5F140BH15 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ07 ,  5F140BJ08 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ17 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK02 ,  5F140BK13 ,  5F140BK27 ,  5F140BK29 ,  5F140BK34 ,  5F140CB04 ,  5F140CB08 ,  5F140CC01 ,  5F140CC03 ,  5F140CC08 ,  5F140CC12 ,  5F140CC13 ,  5F140CE07 ,  5F140CF04