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J-GLOBAL ID：200903059095954707
表面検査方法およびその装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
舘野 千惠子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992072166
Publication number (International publication number)：1993232042
Application date： Feb. 24, 1992
Publication date： Sep. 07, 1993
Summary：
【要約】【目的】 蛍光測定によって接点リレー表面に付着している有機異物の検出および定量評価を高感度に行う。【構成】 接点リレー表面に可視-紫外励起光を照射して、照射励起光強度と、その結果生じる蛍光強度をモニタし、十分に表面が洗浄された接点リレーの蛍光強度をリファレンスとして定量・評価を行う。また、試料を設置している可動パルスステージの走査により有機異物のマッピング評価を行う。
Claim (excerpt)：
接点リレーの表面の汚れを検査する方法において、リレー接点部分に可視、紫外領域の励起光を照射し、該励起光強度および該励起光の試料への照射領域より生じる蛍光強度を測定することによりリレー接点表面に存在している異物の分布状態およびその量を評価することを特徴とする表面検査方法。
IPC (6)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/64
, H01H 11/04
, H01H 49/00
, H05K 3/26
