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J-GLOBAL ID：200903059096442530

イオンプレーティングによる耐高温酸化特性に優れた複合硬質皮膜の形成法

Inventor： 井手 幸夫 ,  稲田 和典 ,  中村 崇
Applicant, Patent owner： 山口県
Agent (1)： 村田 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996183858
Publication number (International publication number)：1998025566
Application date： Jul. 12, 1996
Publication date： Jan. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】イオンプレーティングを用いて基板上に飛躍的に向上した耐高温酸化特性(耐高温酸化温度:1000°C程度)を有するAl-Cr-N系複合硬質皮膜を形成する。【解決手段】真空チャンバー内に配置されたAlとCrの蒸気発生源から、AlとCrの混合蒸気を発生させ、同時に窒素ガスを真空チャンバー内に導入して、前記混合蒸気と窒素ガスとの反応生成物であるAl-Cr-N系複合硬質皮膜を基板上に形成させる。

Claim (excerpt)：

真空チャンバー内に配置されたAl蒸気とCr蒸気の発生源から、Al蒸気とCr蒸気を発生させ、同時に窒素ガスを真空チャンバー内に導入して、前記AlとCrの混合蒸気と窒素ガスとの反応生成物であるAl-Cr-N系複合硬質皮膜を基板上に形成させることを特徴とするイオンプレーティングによる耐高温酸化特性に優れた複合硬質皮膜の形成法。

IPC (2)：

C23C 14/32 ,  C23C 14/06

FI (2)：

C23C 14/32 Z ,  C23C 14/06 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 耐摩耗性非晶質硬質膜及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-068215   Applicant：増本健, 井上明久, ワイケイケイ株式会社