共鳴型光音響計測・検査装置及び方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999376472
Publication number (International publication number)：2001165643
Application date： Dec. 08, 1999
Publication date： Jun. 22, 2001
Summary：

【要約】【課題】筒状構造を有する固体試料の仕上がり寸法の計測や、管内面の表面に存在する微小な表面欠陥の検出などの手段を提供する。【解決手段】筒状構造を有する固体試料を光ビームで局所的に照射し、その音響的共鳴を光音響効果と結合させる事により、固体試料内部に存在する管部の仕上がり寸法を計測し、また管内面の表面に存在する微小な表面欠陥を検出する。

Claim (excerpt)：

筒状固体試料(1)の内面に接触させる様に、変調したレーザーなどの光ビーム(2)を照射して、光吸収により筒の内面に発生した熱源によりそれに接触している気体に生じた微弱な音波をマイクロフォン(3)などの圧力センサーにより検出する、いわゆる「光音響効果」を用いる装置であって、かつ光を変調する周波数を当該筒状試料中に気体が定在波として振動する音波の共鳴周波数近辺で変化された場合に、共鳴効果により光音響信号が振幅・位相ともに大きく変化する事を検出する方法を用いて、筒状固体試料(1)の仕上がり寸法の計測、および試料内面の欠陥を非破壊的に検査する計測・検査装置。

IPC (3)：

G01B 17/02 , G01N 21/00 , G01N 29/00 501

FI (3)：

G01B 17/02 A , G01N 21/00 A , G01N 29/00 501

F-Term (22)：

2F068AA26 , 2F068AA48 , 2F068BB09 , 2F068CC00 , 2F068FF23 , 2F068GG07 , 2F068KK14 , 2G047AA06 , 2G047AB01 , 2G047BC07 , 2G047BC18 , 2G047CA04 , 2G047EA08 , 2G047GA19 , 2G047GF25 , 2G059AA03 , 2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059BB15 , 2G059EE16 , 2G059JJ17 , 2G059KK08

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