湿度センサ素子およびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石井陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000027779
Publication number (International publication number)：2001221764
Application date： Feb. 04, 2000
Publication date： Aug. 17, 2001
Summary：

【要約】【課題】雰囲気中の水分を検知、定量するための、耐水性および耐ガス性に優れ、広い湿度領域で安定した出力特性を有する湿度センサ素子とその製造方法を提供する。【解決手段】湿度センサ素子において、絶縁基板上にギャップを介して対向するように一対の電極を有し、このギャップ上に感湿薄膜を有し、この感湿薄膜は、式(1)の構造の重合体(水酸基含有)を、水酸基と反応し得る2官能性以上の反応基を有する架橋剤を用いて架橋処理して得られた架橋物を含有する。【化19】

Claim (excerpt)：

絶縁基板上にギャップを介して対向するように一対の電極を有し、このギャップ上に感湿薄膜を有し、この感湿薄膜が、下記式(1)で示される重合体の架橋物を含有し、この架橋物が、水酸基と反応し得る2官能性以上の置換基を有する化合物を架橋剤として得られたものである湿度センサ素子。【化1】[式(1)において、A1およびB1は各々二価基を表わす。A2およびB2は各々二価基を表わし、A2およびB2のうちの少なくとも一方は水酸基を有する二価基である。Y1、Y2、Y3、Y4、Y5、Y6、Y7、Y8、Y9およびY10は、各々エチレン性不飽和反応性基を末端に有していてもよい一価基を表わす。Y1、Y2、Y3、Y4、Y5、A1およびこれらの窒素原子(N)側の一部のうち任意の2つ以上、Y4、Y5、B1およびこれらの窒素原子(N)側の一部のうち任意の2つ以上、Y6、Y7、Y8、Y9、A2およびこれらの窒素原子(N)側の一部のうちの任意の2つ以上、ならびにY8、Y9、Y10、B2およびこれらの窒素原子(N)側の一部のうち任意の2つ以上は、各々、結合して窒素原子(N)とともに環を形成してもよい。X-は陰イオンを表わす。mは0〜5000であり、nは1〜5000である。ただし、m+nは2以上である。]

IPC (5)：

G01N 27/12 , C08G 73/02 , C08J 3/24 CFJ , C08J 3/28 CFJ , C08L 79:02

FI (6)：

G01N 27/12 K , G01N 27/12 M , C08G 73/02 , C08J 3/24 CFJ Z , C08J 3/28 CFJ , C08L 79:02

F-Term (85)：

2G046AA09 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BC04 , 2G046DA03 , 2G046EA02 , 2G046EA04 , 2G046FA01 , 4F070AA57 , 4F070AB01 , 4F070AB10 , 4F070AB17 , 4F070AC35 , 4F070AC36 , 4F070AC39 , 4F070AC40 , 4F070AC43 , 4F070AC45 , 4F070AC87 , 4F070AE08 , 4F070GA04 , 4F070GA06 , 4F070GB10 , 4F070GC09 , 4F070HA02 , 4F070HB11 , 4F070HB13 , 4J043PA01 , 4J043PA15 , 4J043PB02 , 4J043PC015 , 4J043PC016 , 4J043PC065 , 4J043PC066 , 4J043PC135 , 4J043PC136 , 4J043QC04 , 4J043QC28 , 4J043RA09 , 4J043SA06 , 4J043SA15 , 4J043SA31 , 4J043SA42 , 4J043SA49 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA02 , 4J043TA41 , 4J043TA43 , 4J043TA72 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA331 , 4J043UA361 , 4J043UA381 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB081 , 4J043UB082 , 4J043UB122 , 4J043UB132 , 4J043UB152 , 4J043VA041 , 4J043VA042 , 4J043XA11 , 4J043XA15 , 4J043XB34 , 4J043YB02 , 4J043YB08 , 4J043YB19 , 4J043YB21 , 4J043YB23 , 4J043YB24 , 4J043YB26 , 4J043YB29 , 4J043YB33 , 4J043YB47 , 4J043ZA06 , 4J043ZA08 , 4J043ZA60 , 4J043ZB60

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