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J-GLOBAL ID：200903059122598454

干渉計のアライメント装置

Inventor： 齋藤 隆行 ,  植木 伸明
Applicant, Patent owner： 富士写真光機株式会社
Agent (1)： 川野 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997282515
Publication number (International publication number)：1999108611
Application date： Sep. 30, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：

【要約】【目的】 干渉計において、被検面アライメント調整時に、その光ビーム光路内に回折光学素子を挿入し、アライメント観察面上に表れる光スポットの回りに明るい尾を形成するようにして、光スポットの中心が観察面からはずれた場合でも、光スポット認識を容易とする。【構成】 アライメント調整時に、ビームスプリッタ22とコリメータレンズ16との間の光路中に回折格子30を挿入せしめ、被検平面2aおよび半透鏡平面18aからの反射光により形成されるCRT28a上の光スポットを、図2に示す如く光スポット中心40の回り八方に明るい尾が形成されるようにすることで、光スポット中心40がCRT28aの観察視野からはずれた場合であってもその位置を認識することが容易となるようにしている。すなわち、光スポット中心40の認識可能範囲を該観察範囲よりも拡げている。

Claim (excerpt)：

光源からの光束を基準面と被検面に照射し、これら2つの面からの、これら各面の形状情報を担持した反射光束を干渉させて、その干渉縞を観察するとともに、前記2つの面からの反射光束をアライメント用検査面上に各々集束させて、得られた2つの光スポットを合致させるように前記2つの面の少なくとも一方の傾きを調整することでこれら2つの面のアライメント調整を行う干渉計のアライメント装置において、前記2つの面のアライメント調整時において、前記2つの面に向かう照射光束の共通光路内もしくは前記2つの面からの反射光束の共通光路内に、回折光学素子が挿入されるように構成されてなることを特徴とする干渉計のアライメント装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• アライメント方法とその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-110318   Applicant：オリンパス光学工業株式会社

Cited by examiner (1)

• アライメント方法とその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-110318   Applicant：オリンパス光学工業株式会社