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J-GLOBAL ID:200903059131278144

圧電材料の物質不安定性の補償方法及び装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 八木田 茂 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993250396
Publication number (International publication number):1994281661
Application date: Oct. 06, 1993
Publication date: Oct. 07, 1994
Summary:
【要約】 (修正有)【目的】 圧電素子の温度不安定性を軽減し、また老化等に因る特性の変化を補償する方法と装置を提供する。【構成】 軸Xを中心とする回転運動を検出する振動式速度センサ10を例にとると、シリンダ12に組み込まれた圧電材料の温度や老化による不安定性を補償するために、シリンダ12に径方向の振動を与える一次と二次の駆動トランスデューサ14,16、およびこの振動を検出する一次と二次のピッフオフトランスデューサ18,20があり、シリンダの共振周波数を検出する。また温度センサ52で動作温度を検出し、信号Toを発生し、基準電圧Vrefと比較し、コントローラ44で適温に調節する。共振周波数とToの値から圧電材料の各種物性パラメータを計算し、基準動作状態からのずれを求め、これらのデータに基づいて、老化を含む圧電材料の特性の変化を補償する。
Claim (excerpt):
圧電材料を組み込みかつ軸を中心に設置したシリンダ(12)、前記シリンダへ径方向振動を与える一次及び二次駆動トランスデューサ、前記シリンダ中にひき起こされる振動の有無を検出する一次及び二次ピックオフトランスデューサ、一次ピックオフトランスデューサから信号を受信し、一次駆動トランスデューサと一次ピックオフトランスデューサの間に90度の位相のずれを起こして共振を維持する一次制御ループ、及び二次ピックオフトランスデューサからその回転を表示する信号を受信し、前記信号を無効にしてゼロになるように信号を二次駆動トランスデューサへ向け、シリンダの作動温度を感知し、かつ作動温度信号(To)を出力する温度センサ、及び、作動温度信号及び一次ピックオフトランスデューサからの共振数信号を受信し、それらをシリンダ圧電材料中のパラメータ変化の補償に使用する補償部材を有する二次制御ループ、を備える、軸(X)を中心とした回転運動を検出する速度センサ装置。
IPC (2):
G01P 3/481 ,  H01L 41/08
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 特開平4-134208
  • 特開昭60-061613
  • 特開平4-278414

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