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J-GLOBAL ID:200903059136432680
分布センサ
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
西藤 征彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999082448
Publication number (International publication number):2000275123
Application date: Mar. 25, 1999
Publication date: Oct. 06, 2000
Summary:
【要約】【課題】圧力,力等の分布を高密度かつ高感度に測定することができ、また、繰り返し使用でき、しかも、一枚のシート状に形成された分布センサを提供する。【解決手段】可撓性基板の両面に圧電結晶薄膜が形成され、この圧電結晶薄膜に電極層8が取り付けられた圧電素子2を、マトリックス状に並べて一枚のシート状に形成した圧電素子集合体1と、この圧電素子集合体1の両面をラミネートする絶縁フィルム5とからなっており、この絶縁フィルム5には、上記電極層8に接続される端子9が所要のパターンに形成されている。
Claim (excerpt):
可撓性基板の片面もしくは両面に圧電結晶薄膜が形成され、この圧電結晶薄膜に電極が取り付けられた圧電素子が複数個、任意に並べられて一枚のシート状に形成され、各電極に端子が接続されていることを特徴とする分布センサ。
IPC (2):
G01L 5/00 101
, G01L 1/16
FI (2):
G01L 5/00 101 Z
, G01L 1/16 B
F-Term (7):
2F051AA01
, 2F051AA18
, 2F051AA19
, 2F051AA21
, 2F051AB08
, 2F051AC01
, 2F051BA08
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