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J-GLOBAL ID：200903059157537113

原子間力顕微鏡

Inventor： 源間 信弘
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991190197
Publication number (International publication number)：1993034144
Application date： Jul. 30, 1991
Publication date： Feb. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】大気中において安定に原子像を得ることができ、さらには試料表面の化学的状態を評価できる原子間力顕微鏡を提供する。【構成】大気中においてカンチレバー先端と試料表面とを接近させて原子間力を検出する原子間力顕微鏡において、カンチレバー5の表面にステアリン酸のLB膜13を偶数層形成し、水に対して疎水的な表面にする。

Claim (excerpt)：

大気中においてカンチレバー先端と試料表面とを接近させて原子間力を検出する原子間力顕微鏡において、前記カンチレバーの表面を水に対して疎水的な表面にしたことを特徴とする原子間力顕微鏡。