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J-GLOBAL ID：200903059160337451

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 廣瀬 浩一 ,  秋山 将宏 ,  猪俣 克巳 ,  勇元 喜次
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 岩見谷 周志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996324813
Publication number (International publication number)：1998148935
Application date： Nov. 20, 1996
Publication date： Jun. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】高解像度かつ高感度で、現像性に優れた感放射線性樹脂組成物であって、ポジ型レジストとしてフォーカス許容性および耐熱性に優れ、定在波効果の抑制された良好な形状のパターンを形成しうる該組成物の提供。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂、例えば下記式で表される化合物、および1,2-キノンジアジド化合物を含有する感放射線性樹脂組成物。【化1】

Claim (excerpt)：

(i)アルカリ可溶性樹脂、(ii)一般式(1):【化1】[式中、Dは、水素原子または1,2-キノンジアジド基を含有する有機基であり、R1〜R4は、それぞれ、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、ニトロ基、シアノ基、ヒドロキシアルキル基、ヒドロキシアルコキシ基または-ODで示される基(ここで、Dは前記と同じ意味である)であり、Xは水素原子、ハロゲン原子またはシアノ基であり、Yは酸素原子または硫黄原子である]で表される化合物、および一般式(2):【化2】[式中、Dは、前記と同じ意味であり、R5〜R7は、それぞれ、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、ニトロ基、シアノ基、ヒドロキシアルキル基、ヒドロキシアルコキシ基または-ODで示される基(ここで、Dは前記と同じ意味である)であり、Xは前記と同じ意味である]で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物、ならびに(iii)前記(ii)成分以外の1,2-キノンジアジド化合物を含有してなる感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R