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J-GLOBAL ID：200903059173845774

層状物質材料の加工方法

Inventor： 向田 広巳 ,  徳本 洋志
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社 ,  工業技術院長
Agent (2)： 阿形 明 ,  阿形 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995216413
Publication number (International publication number)：1997059099
Application date： Aug. 24, 1995
Publication date： Mar. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】 走査型トンネル顕微鏡を用い、材料表面の劣化及び走査型トンネル顕微鏡探針の損傷をもたらすことなく、層状物質材料の表面に効率よく微細加工を施す方法を提供する。【解決手段】 探針を備えた走査型トンネル顕微鏡を用いて、層状物質材料の表面を加工するに当り、堆積用物質を付着させた探針を走査して、加工すべき材料表面上の部位に該堆積用物質を堆積させ、次いで探針を走査してこの堆積物を取り除き、これに層状物質材料を担持させることにより層状物質材料を加工する。

Claim (excerpt)：

探針を備えた走査型トンネル顕微鏡を用いて、層状物質材料の表面を加工するに当り、堆積用物質を付着させた探針を走査して、加工すべき材料表面上の所定部位に該堆積用物質を堆積し、該表面の層状物質材料の一部を堆積物に付着させたのち探針を走査してこの堆積物を取り除くことを特徴とする層状物質材料の加工方法。

IPC (6)：

C30B 33/08 ZAA ,  C04B 41/91 ZAA ,  C30B 29/22 501 ,  H01B 13/00 565 ,  H01L 39/02 ZAA ,  H01L 39/24 ZAA

FI (6)：

C30B 33/08 ZAA ,  C04B 41/91 ZAA Z ,  C30B 29/22 501 P ,  H01B 13/00 565 D ,  H01L 39/02 ZAA D ,  H01L 39/24 ZAA F