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J-GLOBAL ID：200903059238360129
変位検出装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991247712
Publication number (International publication number)：1993089480
Application date： Sep. 26, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】 高精度かつ高速に被測定面の変位を検出する。【構成】 被測定面6までの距離を検出する非接触センサ8と、この非接触センサ8と連結部材27により一体的に取り付けられたリニアスケール20の目盛19を読み取る目盛読み取り手段28と、非接触センサ8と目盛読み取り手段28の出力信号Xが供給される制御回路31とを備え、制御回路31には、非接触センサ8の出力信号であるフォーカスエラー信号Eが目盛読み取り手段28の出力信号である目盛読み取り信号Xにより校正された校正テーブル35Aが格納されている。このため、被測定面6の変位を検出(測定)する際に、サーボをかけずに、非接触センサ8のフォーカスエラー信号Eに対応する校正された出力信号Yを校正テーブル35Aから出力するようにすることで、高精度、かつ高速に被測定面6の変位を検出することができる。
Claim (excerpt)：
被測定面の変位を検出する非接触センサと、この非接触センサと連結部材により一体的に取り付けられたリニアスケールの目盛を読み取る目盛読み取り手段と、上記非接触センサと上記目盛読み取り手段の出力信号が供給される制御回路とを備え、上記制御回路には、上記非接触センサの出力信号が上記目盛読み取り手段の出力信号により校正された校正テーブルが配されたことを特徴とする変位検出装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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