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J-GLOBAL ID：200903059244280684

表面検査装置

Inventor： 的場 有治 ,  風間 彰 ,  河村 努 ,  大重 貴彦
Applicant, Patent owner： 日本鋼管株式会社
Agent (1)： 小島 俊郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001339142
Publication number (International publication number)：2002181723
Application date： Oct. 23, 1996
Publication date： Jun. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】簡単な構成で鋼板表面にある模様状疵や凹凸状の疵をオンラインで連続的に検出して、その種別や程度を弁別する。【解決手段】鋼板4の表面に対して一定入射角で偏光を入射し、その反射光の異なる複数の偏光をリニアアレイカメラ3で測定する。信号処理部12は測定した3種類の画像信号の強度分布を正規化し、正常部に対する疵部の異なる偏光の光強度信号の変化極性と変化量とを算出し、算出した変化極性と変化量とをそれぞれあらかじめ定めたパタ-ンと比較して疵種を判定する。

Claim (excerpt)：

投光部と受光部と信号処理部とを有し、投光部は被検査面に偏光を入射し、受光部は少なくとも3方向の異なる角度の偏光を受光する複数の受光光学系を有し、被検査面で反射した反射光を検出して画像信号に変換し、信号処理部は各受光光学系から出力された光強度分布を平均値があらかじめ定めた基準値となるように規格化し、規格化した複数の光強度分布の変化極性と変化量とをあらかじめ定めたパタ-ンと比較し疵種を判定することを特徴とする表面検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/892 ,  B21C 51/00

FI (2)：

G01N 21/892 B ,  B21C 51/00 P

F-Term (11)：

2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC11 ,  2G051DA06 ,  2G051EA16 ,  2G051EC01 ,  2G051EC03