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J-GLOBAL ID：200903059245690797
ねじり揺動体
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999140211
Publication number (International publication number)：2000330067
Application date： May. 20, 1999
Publication date： Nov. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】ねじりバネ構造の剛性が向上されるとともにトルク-ねじり角特性における非線形性が抑制されているねじり揺動体を提供する。【解決手段】光スキャナに用いられるねじり揺動体は、可動部112と、これを取り囲む固定部114と、両者を接続する一対のねじりバネ構造116と118を有している。可動部112には、その縁を周回するコイル120が設けられ、その内側にミラー130が設けられている。コイル120の両端は、配線127を介して、固定部114上に位置する電極パッドに接続されている。ねじりバネ構造116は平行に延びる二枚の板バネ132と134で構成され、ねじりバネ構造118は平行に延びる二枚の板バネ136と138で構成されている。これら四枚の板バネ132と134と136と138は、同じ厚さを有している。
Claim (excerpt)：
固定部と、固定部に対して揺動可能な可動部と、前記可動部と前記固定部を連結するねじりバネ構造を有するねじり揺動体において、前記ねじりバネ構造はその厚さ方向に所定の間隔を有する二枚の板バネで構成されており、揺動軸が前記二枚の板バネの間に位置することを特徴とするねじり揺動体。
IPC (2)：
G02B 26/10 104
, G01P 15/02
G02B 26/10 104 Z
, G01P 15/02 A
