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J-GLOBAL ID:200903059261939347
積層型誘電体の製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
伊藤 求馬
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002180167
Publication number (International publication number):2003115620
Application date: Jun. 20, 2002
Publication date: Apr. 18, 2003
Summary:
【要約】【課題】 焼成時の雰囲気調整が容易で、酸化物誘電体の組成変動や、雰囲気ガスとの反応による膨張等の不具合が発生することがなく、高品質で大型化が可能な積層型誘電体を製造することを目的とする。【解決手段】 PZT等の酸化物誘電体層2とCu等の卑金属を主成分とする内部電極層3との積層体1を、還元雰囲気中で焼成する際に、CO2 ガスを主成分とし、任意量のCOガスおよびO2 ガスを含む混合ガスを用いる。CO2 ⇔2CO+1/2O2 平衡系を利用し、COガスおよびO2 ガスの量を調整することにより、容易にかつ安定して雰囲気ガス中の酸素分圧を調整でき、雰囲気の変動、ばらつきを抑制する。
Claim (excerpt):
酸化物誘電体層と卑金属を主成分とする内部電極層との積層体を、還元雰囲気中で焼成する工程を経て積層型誘電体を製造する方法において、上記焼成工程を、CO2 ガスを主成分とし、任意量のCOガスおよびO2 ガスを含む混合ガス中で行い、上記COガスおよびO2 ガスの量を調整することにより、雰囲気ガス中の酸素分圧を所定範囲に調整することを特徴とする積層型誘電体の製造方法。
IPC (3):
H01L 41/22
, H01L 41/083
, H01L 41/187
FI (3):
H01L 41/22 Z
, H01L 41/08 Q
, H01L 41/18 101 D
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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積層型電子部品の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-135467
Applicant:株式会社村田製作所
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圧電セラミック焼結体の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-060241
Applicant:松下電器産業株式会社
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特開平4-171990
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積層体変位素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-002783
Applicant:ティーディーケイ株式会社
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低温焼成化誘電体セラミックス、積層型誘電体素子、誘電体セラミックスの製造方法および助剤酸化物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-364641
Applicant:株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
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圧電体素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-114279
Applicant:株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所
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