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J-GLOBAL ID：200903059314795393

走査型顕微鏡のマイクロチップ付きカンチレバー及びマイクロチップの製造方法

Inventor： 伊藤 弘基 ,  太田 斎
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992167126
Publication number (International publication number)：1994011335
Application date： Jun. 25, 1992
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、走査中にマイクロチップ2が摩耗するのを防止するとともに、マイクロチップ2が試料表面に吸着するのを防止して、試料表面を安定的に測定することを目的とするものである。【構成】 マイクロチップ2の中心部2aを硬度の高いセラミックで構成し、かつマイクロチップ2の表面部2bに金属コーティング又は硬質グラファイトコーティングを施した。

Claim (excerpt)：

カンチレバーと、このカンチレバー上に設けられているマイクロチップとを備えている走査型顕微鏡のマイクロチップ付きカンチレバーにおいて、上記マイクロチップは、中心部がセラミックで構成されており、かつ表面部が金属コーティングされていることを特徴とする走査型顕微鏡のマイクロチップ付きカンチレバー。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28