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J-GLOBAL ID：200903059319869107

原子間力顕微鏡

Inventor： 鈴木 正敏 ,  藤井 透
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993159684
Publication number (International publication number)：1995012553
Application date： Jun. 29, 1993
Publication date： Jan. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】 液体中で試料を走査する際の作業能率を向上させる。【構成】 原子間力顕微鏡において、探針9と試料24とを相対移動させるアクチュエータ2、3と、探針を支持する探針支持手段7と、アクチュエータと探針との間に設けられた変形可能な材料からなる第1の封止手段5と、第1の封止手段5および支持手段7が形成するそれぞれの面と接する面を有することでこれら各面によって囲まれる空間Aを形成する変形可能な材料からなる第2の封止手段6とを設けた。そして、探針と試料を前記空間A内に配置した。また、第1の封止手段と第2の封止手段の接触部が探針に対して相対移動できるようにした。

Claim (excerpt)：

試料の表面を探針で走査し、走査時の前記探針の変位量に基づいて前記試料の表面形状を得る原子間力顕微鏡において、前記探針と試料とを相対移動させるアクチュエータと、前記探針を支持する探針支持手段と、前記アクチュエータと探針との間に設けられた変形可能な材料からなる第1の封止手段と、該第1の封止手段および前記探針支持手段が形成するそれぞれの面と接する面を有することでこれら各面によって囲まれる空間を形成する変形可能な材料からなる第2の封止手段とを備え、前記探針および試料が前記空間内に配置されるとともに、前記第1の封止手段と第2の封止手段の接触部が前記探針との間で相対移動可能に構成されていることを特徴とする原子間力顕微鏡。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  G01B 11/30 ,  H01J 37/28