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J-GLOBAL ID：200903059340259890

2台の干渉計を用いた分光撮影装置

Inventor： チャールズ・ルシアン・デュモウリン
Applicant, Patent owner： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
Agent (1)： 生沼 徳二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993165267
Publication number (International publication number)：1994094604
Application date： Jul. 05, 1993
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 粗面を有する試料の電磁波吸収スペクトルを、高感度で検出する装置を提供する。【構成】 試料(100) の表面(110) のスペクトルを求める為、2台の干渉計手段(210,220) を用いて分光撮影装置を構成する。第1干渉計手段(210) の広帯域電磁波源(300) からの電磁波は、波長に反比例した周波数で変調され、分析すべき表面に入射吸収される。斯かる電磁波吸収は試料表面(110) を膨張させる。斯く生じた寸法変化が、単色電磁波源(400) を使用する第2干渉計手段(200) で検出され、試料表面(110) と第2干渉計手段との瞬時距離が測定される。第2干渉計手段用の検出装置(470) としてビデオカメラの如き撮像装置を使用すれば、試料表面の化学組成の空間分布を求め得る。

Claim (excerpt)：

試料表面の電磁波吸収スペクトルに基づいて前記試料表面の化学組成を表わす画像を作成するための装置において、(a) 時変調された広帯域電磁波から成る試料励起ビームを前記試料表面の一部分に照射するために役立つ第1の干渉計手段、(b) 前記第1の干渉計手段から放射された前記試料励起ビームの吸収に応答して生じる、前記試料表面と第2の干渉計手段との距離の経時的変化を検出するために役立つ第2の干渉計手段、並びに(c) 前記試料表面と前記第2の干渉計手段との距離の経時的変化の検出結果から前記試料表面の前記一部分の吸収スペクトルを計算すると共に、前記距離の経時的変化の検出結果から前記試料表面の化学組成を表わす吸収スペクトルを前記試料表面の様々な部分について求めるために役立つ画像形成手段、の諸要素から成ることを特徴とする装置。

IPC (3)：

G01N 21/27 ,  G01N 25/16 ,  G01N 29/00 501