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J-GLOBAL ID：200903059343586817
ダイアモンド状薄膜の形成方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994022843
Publication number (International publication number)：1995233475
Application date： Feb. 21, 1994
Publication date： Sep. 05, 1995
Summary：
【要約】【構成】第1の真空室1においてアーク放電プラズマを発生させ、該アーク放電プラズマを第2の真空室2に導き、第2の真空室2において該アーク放電プラズマ5中にダイアモンド状薄膜形成用原料ガスを供給して該原料ガスを励起、分解し、基体上にダイアモンド状薄膜を形成する。【効果】大面積の基体上に均一な膜厚の高品質なダイアモンド状薄膜を高速にかつ効率的に形成することが可能になる。
Claim (excerpt)：
第1の真空室においてアーク放電プラズマを発生させ、該アーク放電プラズマを第2の真空室に導き、第2の真空室において該アーク放電プラズマ中にダイアモンド状薄膜形成原料ガスを供給して該原料ガスを励起、分解し、基体上にダイアモンド状薄膜を形成することを特徴とするダイアモンド状薄膜の形成方法。
IPC (3)：
C23C 16/26
, C23C 16/50
, C30B 29/04
