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J-GLOBAL ID：200903059346093374

検査装置

Inventor： 斎藤 憲敬 ,  戸田 正利 ,  田代 慎太郎 ,  高橋 哲生
Applicant, Patent owner： 三菱レイヨン株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992182705
Publication number (International publication number)：1994026839
Application date： Jul. 09, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】【構成】 ライン状ライトガイド1から検査対象5を照明し反射光をラインCCDカメラ3で受光し、検査対象の欠陥を検出する装置であって、検査対象5とライン状ライトガイドの光出射端11とが、ライン状ライトガイドのライン巾とラインCCDカメラ3が1ライン走査期間に検査対象が移動する距離とを加算した距離の100倍以上の距離Lだけ離されて配置されている。【効果】 光ファイバも用いたライン状ライトガイドにより検査対象を照明し、その正反射光をラインセンサにより、観測することにより魔鏡の原理を用いた異物、傷等の凹凸検出が可能となる。

Claim (excerpt)：

光ファイバを用いたライン状ライトガイドから、相対的に移動する検査対象を照明しその反射光をラインセンサで受光し、検査対象の欠陥を検出する装置において、該ラインセンサが、ライン状ライトガイドからの出射光のライン方向垂直面成分のうち、最も大きな光成分に対する検査対象上での正反射光を受光できる位置に配置され、該検査対象と該ライン状ライトガイドの光出射端とが、ライン状ライトガイドのライン巾とラインセンサが1ライン走査期間に検査対象が移動する距離とを加算した距離の100倍以上の距離だけ離されて配置されていることを特徴とする検査装置。

IPC (2)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88