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J-GLOBAL ID：200903059354838540

粒子検出装置

Inventor： 松田 朋信
Applicant, Patent owner： リオン株式会社
Agent (1)： 小山 有 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001183912
Publication number (International publication number)：2003004624
Application date： Jun. 18, 2001
Publication date： Jan. 08, 2003
Summary：

【要約】【課題】 S/N比を向上させた粒子検出装置を提供する。【解決手段】 レーザ光Laを照射して形成される粒子検出領域Mに検出対象となる試料気体Gを導き、この試料気体Gに含まれる粒子を、レーザ光Laが粒子に照射されて生じる散乱光Lsを受光することによって検出する粒子検出装置において、試料気体Gに分極率の低い清浄気体Gaを混合して粒子検出領域Mに導くようにした。

Claim (excerpt)：

光を照射して形成される粒子検出領域に検出対象となる流体を導き、この流体に含まれる粒子を、前記光が粒子に照射されて生じる散乱光を受光することによって検出する粒子検出装置において、前記流体に分極率の低い流体を混合して前記粒子検出領域に導くことを特徴とする粒子検出装置。

FI (2)：

G01N 15/14 A ,  G01N 15/14 K