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J-GLOBAL ID:200903059417971173

走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダ及びホルダマウント

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996173766
Publication number (International publication number):1998019905
Application date: Jul. 03, 1996
Publication date: Jan. 23, 1998
Summary:
【要約】【課題】カンチレバーを所定位置にセットするまでの間、カンチレバーを格納して保護するカンチレバーホルダ、及び、カンチレバーホルダが取り付けられた際に、カンチレバーを所定位置にセットするホルダマウントを提供する。【解決手段】カンチレバーホルダ24は、走査型プローブ顕微鏡(SPM)のホルダマウント26に取り付け可能なカンチレバー保護部材4と、カンチレバーをSPMの所定位置にセットするまでの間、カンチレバーがカンチレバー保護部材内に格納され且つ保護されるように、カンチレバーを保持する弾性変形自在な板ばね6とを備える。ホルダマウントは、カンチレバーホルダが着脱自在に取り付け可能なマウント部18と、マウント部にカンチレバーホルダが取り付けられた際にカンチレバーをSPMの所定位置にセットするように、板ばねを押圧してカンチレバーをカンチレバー保護部材の外側に押し出す押圧部20とを備える。
Claim (excerpt):
走査型プローブ顕微鏡の所定位置にセットするカンチレバーを保持した走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダであって、この走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダには、前記走査型プローブ顕微鏡に取り付け可能なカンチレバー保護部材と、前記カンチレバーを前記走査型プローブ顕微鏡の所定位置にセットするまでの間、前記カンチレバーが前記カンチレバー保護部材内に格納され且つ保護されるように、前記カンチレバーを保持する弾性変形自在な弾性保持部材とが設けられていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダ。
IPC (2):
G01N 37/00 ,  G01B 21/30
FI (3):
G01N 37/00 A ,  G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z

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