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J-GLOBAL ID：200903059449100301

層厚可変のマイクロ光造形方法と層厚可変型マイクロ光造形装置

Inventor： 宗兼 正直 ,  村松 宏
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 松下 義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003110630
Publication number (International publication number)：2004314406
Application date： Apr. 15, 2003
Publication date： Nov. 11, 2004
Summary：

【課題】本発明の課題は、光量を増加させると、面分解能が低下してしまうという問題を回避しながら速い走査を実現すること、また、そのために開口数や倍率の異なる対物レンズ交換を行おうとする際に、フォーカスや位置がずれ、樹脂中の造形物を見失ってしまうという問題を回避することにある。【解決手段】薄く小さな領域を硬化させる場合には対物レンズ14の開口数を大きくとって微小スポットを形成し、逆に厚い領域を硬化させる場合には開口数を小さくし光強度を上げることにより、面内方向をしぼりつつ厚さ方向の硬化領域を増すようにして、光硬化樹脂16の硬化層の厚みをその状況に応じて変化させるものである。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

薄く小さな領域を硬化させる場合には対物レンズの開口数を大きくとって微小造形スポットを形成し、逆に厚い領域を硬化させる場合には開口数を小さくすると共に光強度を上げることにより面方向にしぼりつつ厚さ方向の造形スポット領域を増すようにして、樹脂の硬化層の厚みをその状況に応じて変化させることで面分解能を落とさずに厚い樹脂硬化を実現させることを特徴とする層厚可変のマイクロ光造形方法。

IPC (1)：

B29C67/00

FI (1)：

B29C67/00

F-Term (9)：

4F213AA44 ,  4F213WA25 ,  4F213WA97 ,  4F213WB01 ,  4F213WL03 ,  4F213WL13 ,  4F213WL44 ,  4F213WL77 ,  4F213WL95