異物検査装置及び異物検査方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：則近憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994076237
Publication number (International publication number)：1995146245
Application date： Apr. 15, 1994
Publication date： Jun. 06, 1995
Summary：

【要約】【目的】従来よりも小さな0.1μm以下の傷や異物の検出が確実に出来るように検出感度を上げることを可能とする異物検査装置が提供する。【構成】レ-ザ発振器27から出力した直線偏光の光束は1/2 波長板28を通過し反射ミラー29で反射した後、集光レンズ30により半導体ウエハ2上に小さなレ-ザスポット31となるように集光される。1/2 波長板28は光軸を中心に回転することによりレ-ザ発振器27で発振したレ-ザ光の偏光方向も回転させる働きがあることを利用して前記レ-ザ光を半導体ウエハ2に対して、P偏光に調節されている。ファイバプレート32と光電子増倍管33とを組み合わせて構成されている光受光系に受光された散乱光は光電子増倍管33で電気信号に変換される。光電子増倍管33から出力されている電気信号は増幅部34により増幅された後、検出部35で演算し、異物や傷の有無やその位置を検出する。

Claim (excerpt)：

被検査体表面の微細な異物を検査する異物検査装置において、光源と、この光源から発したP偏光成分のみを被検査体表面にスポット状に集光する集光手段と、この集光手段によって集光されたスポット光を前記被検査体表面に相対的に走査する走査手段と、この走査手段によって走査されたスポット光の照射位置から散乱した光を直接受光する受光手段と、この受光手段による受光強度より前記被検査体表面の異物などの検出を行う検出手段とを具備したことを特徴とする異物検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特開平2-186248
特開昭62-011145
異物検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-094266 Applicant：株式会社東芝

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Cited by examiner (2)

特開平2-186248
特開昭62-011145

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