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J-GLOBAL ID:200903059497864127
イオンガス発生装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994319910
Publication number (International publication number):1996180997
Application date: Dec. 22, 1994
Publication date: Jul. 12, 1996
Summary:
【要約】【目的】 本発明は、イオン化量の調整が容易で、且つイオン選別効果の優れたイオンガス発生装置を提供することを目的とする。【構成】 X線源(20)から照射されたX線によってイオン化されたイオンガスの内、最も内側の通気性プレート(40)の電位を基準としたときの最も外側の通気性プレート(41)の電位の極性と同じ極性のイオンは、複数の通気性プレート(40,41)間に形成された電界により通気性プレート(40,41)を通過できず、第1の導電膜(50)および内側の通気性プレート(40)に接触して中性化する。一方、異なる極性のイオンは内側の通気性プレート(40)を通過し、外側の通気性プレート(41)方向へ加速され、外側の通気性プレート(41)を通過して、絶縁性筺体(10)の外部に放出される。
Claim (excerpt):
一方の端部或いはその近傍に形成されたガス導入口と他方の端部或いはその近傍に形成された吹出し口とを有し絶縁性材料からなる筐体と、前記筐体の内壁面に形成された第1の導電膜と、前記筐体の外壁面に形成された第2の導電膜と、前記ガス導入口から前記筐体内に導入されたガスにX線を照射するX線源と、前記吹出し口に間隔を空けて覆設された複数の通気性プレートとを備え、前記第1の導電膜と前記第2の導電膜とで異なる電圧が印加されると共に、複数の前記通気性プレートの内、最も内側の前記通気性プレートと最も外側の前記通気性プレートとで異なる電圧が印加され、最も内側の前記通気性プレートの電位を基準としたときの最も外側の前記通気性プレートの電位と前記第1の導電膜の電位を基準としたときの前記第2の導電膜の電位とが同じ極性であることを特徴とするイオンガス発生装置。
IPC (2):
Patent cited by the Patent:
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