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J-GLOBAL ID：200903059503553066

分光偏光解析装置

Inventor：
ファントン、ジェフリー・ティー

About ファントン、ジェフリー・ティー

, 
オプサル、ジョン

About オプサル、ジョン


Applicant, Patent owner：
サーマ-ウェイブ・インク

About サーマ-ウェイブ・インク


Agent (1)： 山崎 行造 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996513924
Publication number (International publication number)：1998507833
Application date： Sep. 27, 1995
Publication date： Jul. 28, 1998
Summary：
【要約】開示された光学的検査装置は、複数の波長について偏光解析出力信号を発生するものであり、各々の信号は複数の入射角における測定の積分を表す。偏光された広帯域光ビームは、入射角の広がりを形成する方式で、レンズを通じて試料上へ集束される。反射したビームは四分の一波長板と偏光器とを通過し、その偏光器は、ビームの二つの偏光状態の間の干渉効果を形成する。次いでビームはフィルタを通過するが、このフィルタは、ビームの二つの対向する半径象限を透過させ、且つ残りの二つの象限に入射するビームを遮光する。次いでビームは集束されて、波長の関数として角度的に分散される。一次元の光検出器配列の各要素は、出力信号を発生し、この出力信号は特定の波長に関係していて、しかも複数の入射角における位相鋭敏偏光解析パラメータ(δ)の積分を表す。対象の信号を分離するために、第二の独立した測定がなされる。一つの実施例においては、フィルタの方位角が90度単位で回動される。この第二の測定の出力信号を、第一の測定の対応する出力信号から減算すると、複数の波長について位相鋭敏偏光解析情報が得られる。この偏光解析情報は試料の解析に用いられる。
Claim (excerpt)：
試料を評価するための装置であって、 多色光の光ビームを発生するための光源と、 光ビームを偏光させるための手段と、 光ビーム内の様々な光線が入射角の広がりを形成する方式で、光ビームを試料の表面へ合焦するためのレンズ手段と、 光ビームの一つの偏光状態の位相を遅延させるための手段と、 試料と相互作用した後の光ビームの二つの偏光状態の間の干渉効果を形成するための手段と、 前記レンズ手段の結像面に配置され、光ビームを濾波するためのフィルタ手段であり、光の少なくとも一部に第一の半径象限を透過させ、且つ第一の半径象限に対して直交して配置された二つの半径象限からの光を遮光するためのフィルタ手段と、前記透過した光を合焦させると共に、その合焦された光を波長の関数として角度的に分散させるための光学手段と、 前記合焦された光の強度を位置の関数として測定するための手段と、 この第一の測定期間中に、前記フィルタ手段により遮光された光の特性を有する光について、第二の独立の強度測定を得るための手段と、 前記二つの測定に基づいて試料を評価するためのプロセッサ手段とを備え、前記二つの測定は、様々な入射角における光線の積分を表している装置。
IPC (2)：
G01N 21/21 ,  G01N 21/27
FI (2)：
G01N 21/21 Z ,  G01N 21/27 B
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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