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J-GLOBAL ID:200903059525338320

ハードディスク基板の研磨用組成物及びこれを用いる研磨方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 長谷川 曉司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995298091
Publication number (International publication number):1997137156
Application date: Nov. 16, 1995
Publication date: May. 27, 1997
Summary:
【要約】【課題】 保存安定性が良く、且つ優れた研磨面を与えるハードディスク基板の研磨用組成物を提供する。【解決手段】 水溶性バインダー樹脂及び平均分子量5000以上の高分子分散剤を含む水性媒体中に砥粒を分散させて成り、且つ高分子分散剤がポリオキシアルキレン鎖部分(A)とカルボキシル基が結合している炭化水素鎖部分(B)とを有しており、その重量比がB:A=1:0.01〜0.2であることを特徴とするハードディスク基板の研磨用組成物。
Claim (excerpt):
水溶性バインダー樹脂及び平均分子量5×103 以上の高分子分散剤を含む水性媒体中に砥粒を分散させて成り、且つ高分子分散剤がポリオキシアルキレン鎖部分(A)と、カルボキシル基が結合している炭化水素鎖部分(B)とを有しており、その重量比がB:A=1:0.01〜0.2であることを特徴とするハードディスク基板の研磨用組成物。
IPC (3):
C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00
FI (3):
C09K 3/14 550 J ,  C09K 3/14 550 D ,  B24B 37/00 H

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