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J-GLOBAL ID：200903059559922382

メッキ装置とメッキ方法

Inventor： 鎌田 順夫
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991344183
Publication number (International publication number)：1993171500
Application date： Dec. 26, 1991
Publication date： Jul. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 メッキ液循環式のメッキ装置とメッキ方法に関し、メッキ液中の析出物や沈澱物およびパーティクル等を除去して品質的に優れたメッキ処理を施し生産性の向上を図ることを目的とする。【構成】 貯液タンク11から圧送されるメッキ液18が被メッキ物2を搭載固定するメッキカップ14を具えたメッキ処理槽15を経て上記貯液タンク11に回収されるメッキ液循環式のメッキ装置であって、貯液タンク11のメッキ液18をメッキカップ14に圧送する噴流ポンプ12の流出側と、前記貯液タンク11またはメッキ処理槽15またはその双方の側壁外部に設けられた槽内メッキ液強制循環用の循環パイプ途中に位置する循環ポンプ11b,15b の流出側とに、メッキ液流路を遮断し得る所定メッシュ粗さの網目ネットを持つフィルタが着脱自在に装着できるフィルタ部4を配設して構成する。

Claim (excerpt)：

貯液タンク(11)から圧送されるメッキ液(18)が被メッキ物(2) を搭載固定するメッキカップ(14)を具えたメッキ処理槽(15)を経て上記貯液タンク(11)に回収されるメッキ液循環式のメッキ装置であって、貯液タンク(11)のメッキ液(18)をメッキカップ(14)に圧送する噴流ポンプ(12)の流出側と、前記貯液タンク(11)またはメッキ処理槽(15)またはその双方の側壁外部に設けられた槽内メッキ液強制循環用の循環パイプ途中に位置する循環ポンプ(11b,15b) の流出側とに、メッキ液流路を遮断し得る所定メッシュ粗さの網目ネットを持つフィルタが着脱自在に装着できるフィルタ部(4) が配設されて構成されていることを特徴としたメッキ装置。

IPC (7)：

C25D 21/18 ,  C25D 5/08 ,  C25D 7/12 ,  C25D 17/00 ,  C25D 21/06 ,  H01L 21/288 ,  H01L 21/321