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J-GLOBAL ID：200903059588861325

基板処理装置

Inventor： 長谷川 公ニ
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999089151
Publication number (International publication number)：2000286224
Application date： Mar. 30, 1999
Publication date： Oct. 13, 2000
Summary：

【要約】【課題】洗浄処理後の排液を処理液の種類に応じた分離回収を達成する。【解決手段】 基板Wの洗浄処理は複数の薬液や純水が処理槽1に供給されることにより行なわれる。処理槽1から排出される排液は排液排出管41に配置されたpH計測手段44のpHセンサ441により検出されたpH値によりその種類が特定される。コントローラ8は、複数の種類別排液排出管42から排液の種類に応じた流出先に排液を導入するように夫々の種類別排液排出管42に対応する開閉弁43を切り換え制御する。

Claim (excerpt)：

基板を処理液に浸漬して所定の処理を行う処理槽と、前記処理槽に複数種類の処理液を選択的に供給する処理液供給系と、前記処理槽から排出される排液を導入する排液排出系と、を備え、かつ、前記排液排出系は、排液の種類に応じた複数の種類別排液排出管と、前記処理槽から排出される排液を、その種類別排液排出管に対して流出先を切り換える切換手段と、前記処理槽と前記切換手段との間に配置され、前記処理槽から排出される排液のpH値を検出するpH計測手段と、を具備し、このpH計測手段から出力される検出信号に基づき、前記処理槽から排出される排液が、その排液の種類に応じた種類別排液排出管にのみ流されるように前記切換手段を切り換える制御手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (3)：

H01L 21/304 648 ,  B08B 3/04 ,  H01L 21/306

FI (3)：

H01L 21/304 648 F ,  B08B 3/04 B ,  H01L 21/306 J

F-Term (16)：

3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201BB04 ,  3B201BB05 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201BB96 ,  3B201CB12 ,  3B201CD22 ,  3B201CD42 ,  3B201CD43 ,  5F043DD23 ,  5F043EE27 ,  5F043EE33 ,  5F043EE40 ,  5F043GG10