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J-GLOBAL ID：200903059599468536
ウェーハカセット授受装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三好 祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993235793
Publication number (International publication number)：1995066267
Application date： Aug. 27, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】半導体製造装置と外部搬送装置間のウェーハカセットの授受を効率よく行える様にする。【構成】カセットストッカ2と外部搬送装置17との間でウェーハカセット13を授受するウェーハカセット授受装置に於いて、ウェーハカセットをカセットストッカに装入するカセットローダ1とウェーハ外部搬送装置との間に設けられウェーハカセットを反転台板30に前後に2個受載可能とすると共に該反転台板に保持可能とし、該反転台板を水平状態から前後に回転可能とし、反転台板にウェーハカセットを受載させる場合、手前側は反転台板を水平状態にして受載し、奥側は反転台板を鉛直状態として保持させ、又反転台板からウェーハカセットを受取る場合、手前側は反転台板を水平状態にして受取り、奥側は反転台板を鉛直状態として受取り、1つの反転台板により前後2個のウェーハカセットの授受を行う。
Claim (excerpt)：
カセットストッカと外部搬送装置との間でウェーハカセットを授受するウェーハカセット授受装置に於いて、ウェーハカセットをカセットストッカに装入するカセットローダとウェーハ外部搬送装置との間に設けられ、ウェーハカセットを反転台板に前後に2個受載可能とすると共に該反転台板に保持可能とし、該反転台板を水平状態から前後に回転可能としたことを特徴とするウェーハカセット授受装置。
IPC (3)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/22 511
